高端仪器和制造设备领域是支撑现代工业体系升级与新兴领域突破的“工业母机”，其核心价值在于通过精密化、智能化、自主化技术突破，为人工智能、网信、无人系统、航空航天等领域提供基础工具链与制造能力保障，是新质生产力培育和战略产业自主可控的核心支柱。本领域重点征集精密测量仪器、智能制造设备、核心零部件制造等方向的创新成果与技术解决方案。 

（1）精密测量仪器方向：聚焦纳米级测量、极端环境感知、多物理场耦合检测等核心技术，突破工业检测、科研实验、国防装备等场景的精度瓶颈。研发量子传感与原子级测量技术（如量子陀螺仪、原子力显微镜）、多模态集成检测系统（光-声-电磁融合测量）、极端环境适应性仪器（高温/高压/强辐射环境在线监测设备）。应用成果形式为高精度测量仪器、在线监测系统或行业解决方案（如半导体晶圆检测设备）。 

（2）智能制造装备方向：推动制造装备向智能化、柔性化、绿色化升级，支撑新兴领域关键装备的自主可控生产。研发超精密数控机床（微米级加工精度）、智能产线协同控制系统（数字孪生驱动的动态调度）、增材制造与复合材料成型装备（航天构件3D打印、碳纤维自动铺丝机）等。应用成果形式为智能加工装备、产线集成系统或可验证工艺方案（如航空发动机叶片五轴加工中心）。 

（3）核心零部件制造方向：突破“卡脖子”高端装备和高精度轴承及减速器、关节模组、电机及驱动系统等基础零部件制造技术，保障产业链安全与性能跃升。微纳器件精密加工（MEMS传感器、光刻机核心光学元件）、高性能材料成型技术（单晶叶片定向凝固、碳化硅衬底制备）、轴承等超精密装配与封装（高精度轴承装配、芯片异构集成）。应用成果形式为关键零部件产品（如光刻机物镜组）、制造工艺验证平台或国产化替代方案。