0013016 双频激光干涉仪相位解算卡

需求类别

 装备采购类      □应用场景类       技术突破类       □概念创新类

需求领域

高端仪器和制造设备          □人工智能         □网信       □无人系统        □航空航天

 

需求简述

双频激光干涉仪是实现超高精密位置测量的核心仪器,其中相位解算卡是实现高通量实时位置计算的核心部件。其功能是将干涉信号完成光电转化并实现相位细分,是实现超高分辨率的关键一环。该解算卡接口为标准VME+P2bus组成,尺寸为标准的6U板卡。

 

 

 

 

 

 

主要指标要求

电子细分≥ 1024,分辨率≤ 0.15nm@ 光学 4 细分; 

频率范围:0.5MHz~30MHz

光信号灵敏度:0.065μW;

测量速度:

±1.58m/s@ 20MHz 频差

±0.87 m/s @ 6MHz 频差

±1.1 m/s@ 7.5MHz 频差

±2.29 m/s @ 15MHz 频差

data age ≤ 3μs;

数据更新率 10MHz

具备非线性校正功能。

 

成果形式

解算卡实物;

解算卡硬件设计相关文件;

FPGA 等相关软件源代码 .