0011001 工业检测用OCT系统国产化研发

需求领域

✓高端仪器和制造设备          □人工智能         □网信       □无人系统        □航空航天

需求简述

针对增减材制造过程中样件微纳结构特征尺寸、形貌关键信息的在线高速检测及处理，定制化设计开发光学相干层析成像(OpticalCoherenceTomography,OCT)高精度高效检测系统及配套软件，并完成核心功能部件国产化攻关。其中该系统研发需要解决的核心技术问题包括以下三项内容:
系统远工作距离下具备高分辨率检测能力;
系统需实现全国产化;
开发专用配套软件及功能模块。

主要指标要求

远 工 作 距 离 (200mm以 上 ) 横 向 分 辨 率 ≤ 10μm， 纵向分辨率≤ 1μm;

固定检测幅面不小于 80mmx80mm。

成果形式

实物成果 : 光学相干层析成像 (OCT) 高精度高效检测 系统及配套软件一套。