0013020 低电容高灵敏度压电陶瓷研制

需求领域

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需求简述

低电容高灵敏度压电陶瓷是高性能伺服系统的核心部件，其同时作为该系统的执行器与传感器，利用压电效应实现伺服运动系统闭环控制。压电陶瓷的低电容特性可以显著提升主动控制带宽，高灵敏度特性能够实现毫牛级别动态力检测和纳米级运动控制。

主要指标要求

 外形尺寸（23±0.1）×（19±0.1）×1.5（0-0.05）mm；

表面平面度0.05mm，与底面平行度0.005mm；

电容值100±10%nF；

输入电压位移伸缩量为1.2±10%nm/V；

施加外力，输出1.2±10%nC/N

成果形式

 加工件实物     测试报告